「フッ化硫黄」に関連した文献の一覧

アナリティカルレポート 半導体製造装置から排出される四フッ化メタン及び六フッ化硫黄測定用認証標準物質としての一次標準ガスの開発 =Development of primary reference gas mixture of CF4 and SF6 in N2 as CRM for measurements of their emission from semiconductor process tool ― NDL雑誌記事索引

松本 信洋 野口 文子 青木 伸行 他 日本分析化学会

高圧六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）中で使用するリレーのためのスクリーニング試験 ― NDL蔵書目録 （和図書・和雑誌）

沓掛健一，松田誠，花島進，小原建治郎‖［著］ 日本原子力研究開発機構 ２００８．１

大気および海水中の超微量六フッ化硫黄(SF6)の測定手法の高度化とSF6標準ガスの長期安定性の評価 =Highly developed precise analysis of atmospheric and oceanic sulfur hexafluoride (SF6) and evaluation of SF6 standard gas stability ― NDL雑誌記事索引

時枝 隆之 石井 雅男 斉藤 秀 他 気象研究所 / 気象研究所 編

都内の六フッ化硫黄の濃度傾向について ― NDL雑誌記事索引

小峯 美奈子 早福 正孝 辰市 祐久 他 東京都環境科学研究所 / 東京都環境科学研究所 編

フロン・六フッ化硫黄無害化処理装置の開発 (特集 送・配・変電の新技術) ― NDL雑誌記事索引

竹内 章浩 日本工業新聞社

メタンとフッ化硫黄を用いたマグネトロンスパッタ法によって作製したa-SiCS:H:F薄膜 (第42回真空に関する連合講演会プロシーディングス) ― NDL雑誌記事索引

斎藤 順雄 仲秋 勇 岩田 弘 他 日本真空協会

六フッ化硫黄ガス絶縁物について (電力工業の化学(特集)) ― NDL雑誌記事索引

中村 寿太郎 化学工業社

六フッ化硫黄(資料) ― NDL雑誌記事索引

高木 駿 高圧ガス保安協会 / 高圧ガス保安協会 〔編〕

六フッ化硫黄の熱的特性 ― NDL雑誌記事索引

広岡 紘一 白井 満 日本化学会 / 日本化学会 編

六フッ化硫黄(SF6)の回収技術 =Recycle technology of sulfur-hexafluoride (小特集 パーフルオロ化合物(PFCs)利用機器の動向とその排出防止技術) ― NDL雑誌記事索引

太陽日酸東関東株式会社 日本真空協会

222〜500K,50MPaの領域に対する六ふっ化硫黄の状態式の作成〔含 討論〕 ― NDL雑誌記事索引

小田 篤 上松 公彦 渡部 康一 日本機械学会

6ふっ化硫黄ガス洗い出し法による機能的残気量の測定 ― NDL雑誌記事索引

山村 剛康 他 克誠堂出版

PFCと六フッ化硫黄による地球温暖化 (国内外の環境問題のとりくみ) ― NDL雑誌記事索引

泉 邦彦 日本環境学会 / 日本環境学会 〔編〕

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